一、產(chǎn)品概述：

多模式3D光學(xué)輪廓儀擁有白光干涉（基于白光干涉的高精度定量共焦技術(shù)，自動(dòng)聚焦技術(shù)）、無(wú)極自動(dòng)變焦和膜厚測(cè)量三種測(cè)量模式，支持自由切換。白光干涉測(cè)量模式適用于光滑表面和超高精度精度測(cè)量場(chǎng)景，無(wú)極自動(dòng)變焦模式適用于粗糙表面、大斜率、曲面和溝槽輪廓測(cè)量，膜厚測(cè)量適用于納米級(jí)膜厚厚度測(cè)量。

二、產(chǎn)品用途：

DTP5800可快速、準(zhǔn)確地獲取1nm至10mm高度的樣品表面數(shù)據(jù)，垂直分辨率可達(dá)0.1nm,測(cè)量精度1nm。DTP5800擁有非接觸式無(wú)損測(cè)量、高分辨率、測(cè)量區(qū)域?qū)捄托矢叩忍攸c(diǎn)。DTP5800提供多種配置的3D光學(xué)輪廓儀和開(kāi)發(fā)版測(cè)量頭，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體前后道檢測(cè)，PCB工藝，微納制造，陽(yáng)極氧化工藝，蓋板噴砂工藝，光學(xué)加工等場(chǎng)景，為科研和制造提供符合ISO25178/ISO 4287國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的表面粗糙度、平面度、臺(tái)階高度、曲率半徑和表面體積面積等參數(shù)。

三、技術(shù)優(yōu)勢(shì)

u 三種測(cè)量模式自由切換

u 分辨率0.1nm

u 1nm測(cè)量精度

u 簡(jiǎn)單操作易使用

u 測(cè)量重復(fù)性高

u 支持樣品加熱等定制功能

u 供應(yīng)鏈自主可控

u 上位機(jī)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)采集存儲(chǔ)，預(yù)留網(wǎng)口接入客戶MES系統(tǒng)

u 上位機(jī)軟件提供二次開(kāi)發(fā)接口，可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制開(kāi)發(fā)

四、測(cè)量功能

u 長(zhǎng)、寬、高、角度、弧度、臺(tái)階高度、曲率半徑

u 線粗糙度和面粗糙度、表面波紋度

u 平面度、翹曲度、共面度

u 表面劃痕、磨損、缺陷

u 體積、面積

u 透明膜厚

技術(shù)參數(shù)：

1. 三種工作模式選擇：白光干涉測(cè)量模式、無(wú)極變焦測(cè)量模式、膜厚測(cè)量模式；

2. 白光干涉測(cè)量模式：適用于光滑表面和超高精度測(cè)量場(chǎng)景；

3. 無(wú)極自動(dòng)變焦測(cè)量模式，適用于大粗糙度、大斜率、曲面和溝槽輪廓測(cè)量；

4. 反射光譜膜厚測(cè)量模式，適用于納米級(jí)膜厚厚度測(cè)量；

5. 干涉物鏡：10X（其他型號(hào)可選）；

6. 定制型白光LED光源，高亮度，長(zhǎng)壽命。提供單色光LED光源選擇；

7. Z方向測(cè)量量程：壓電模式下100μm量程，垂直掃描模式下1nm-10mm量程，采用專利性垂直掃描方式，支持大量程場(chǎng)景下輸出高精度測(cè)量數(shù)據(jù)；

8. 薄膜厚度測(cè)量范圍：50nm-100μm（依賴于使用物鏡與樣品）；

9. 臺(tái)階高度測(cè)量重復(fù)性：0.1% 1σ

10. 臺(tái)階高度準(zhǔn)確性：0.5%

11. 粗糙度RMS重復(fù)性：0.01nm

12. 垂直分辨率：0.1nm

13. 水平分辨率：0.2μm-1.87μm（依賴于使用物鏡）

14. 掃描速度：≥50μm/s

15. 相機(jī)分辨率：1360*1024

16. 樣品表面聚焦輔助功能

17. 支持測(cè)量樣品反射率：5%-100%

18. 全自動(dòng)XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)范圍：200*100mm

19. 傾斜調(diào)整：±5°

20. Z軸聚焦行程：50mm

自動(dòng)化分析功能：計(jì)算的二維形貌參數(shù)包括：偏斜度參數(shù)，峰度參數(shù)，*大波峰高度參數(shù)，自相關(guān)長(zhǎng)度參數(shù)，紋理縱橫比參數(shù)，紋理方向參數(shù)，均方根傾斜度參數(shù)，波谷均方根粗糙度參數(shù)、表面形態(tài)頻率譜密度函數(shù)、二維形貌參數(shù)輸出等功能。計(jì)算的三維形貌參數(shù)包括：偏斜度參數(shù)，峰度參數(shù)，面積材料反比參數(shù)，同一區(qū)域材料反比參數(shù)，*大波峰高度參數(shù)，自相關(guān)長(zhǎng)度參數(shù)，紋理縱橫比參數(shù)，紋理方向參數(shù)，均方根傾斜度參數(shù)，展開(kāi)的界面面積比參數(shù)，波峰材料體積參數(shù)，核心材料體積參數(shù)，核心空間體積參數(shù)，上支承面積參數(shù)，波谷均方根粗糙度參數(shù)，展開(kāi)面積參數(shù)，投影面積參數(shù)、表面形態(tài)頻率譜密度函數(shù)等參數(shù)功能。