● 采用剛性好的固定橋式結構,具有高精度、高性能和高穩(wěn)定性的優(yōu)點;
● 四軸均采用精密滾珠絲杠傳動,具有剛性高,反向問隙小、傳動精度高的特點;
● 采用優(yōu)質花崗巖空氣軸承導軌結構,熱膨脹系數(shù)小,導向精度高,運行平穩(wěn);
● Y向采用燕尾式氣浮導軌設計,使其在X、Z方向具有較強的抗扭強度;
● Z軸采用獨特專利技術的氣浮套結構,偏置力矩小,運動平穩(wěn);
● 光柵尺采用進口高精度插槽式光柵尺。
測量精度:0.5+L/1000起